在半导体工艺整机装备中，最核心的零部件就是真空机械手及集束型设备，它们作为晶圆传输设备，被广泛应用于晶圆制造与封装测试等全工艺流程产业链中。
新松半导体总经理程龙表示，真空机械手系列产物的自主可控将进一步缓解半导体整机装备的“卡脖子”问题。据了解，新松半导体是创业板上市公司机器人（新松机器人）的控股子公司，于2023年2月份成立。
现阶段，新松半导体的主要产物是真空类晶圆传输产物和大气类晶圆传输产物，前者包括真空机械手、真空传输平台及部件，后者包括大气洁净机械手等。
从市场来看，中国真空机械手市场一度被美国公司垄断，该领域技术门槛极高，但新松半导体正在这一领域掀起一场国产替代的风暴。“我可以非常自豪地说，目前在技术领域，新松机器人和美国公司已经没有断层式差距，甚至在逐步迎头赶上。更重要的是，我们团队400多人平均年龄还不到30岁，是非常年轻的团队，潜力巨大。”程龙表示。
得益于技术追赶，新松机器人吸引了国家集成电路产业投资基金、北方华创、中微半导体、拓荆科技、华海清科等战略投资者。绑定战略合作客户，促成了新松半导体与战略客户从业务到资本的深度合作，形成产业链协同发展效应。以此为契机，新松半导体系列产物的国产化替代和市场推广也得以加速。
程龙提到，尽管新松半导体自主研制真空机械手及集束型设备已达到国际同等水平，部分指标还优于国外设备，但是在一致性和可靠性方面还有进一步提升的空间。在市场方面，半导体行业研发投入大、试错成本高、验证周期长、国内客户对国产供应链的信心不足等客观问题仍在阻碍国内公司进一步开拓市场。
展望未来，程龙对新松半导体超越海外公司，拿下国内市场份额第一充满自信。他说：“我们希望在2027年到2028年，在中国能拿到第一，我们整个团队的目标非常清晰，现在就是一路狂奔。”
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? 王近海记者 倪广华 摄
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