在晶瑞(湖北)微电子材料有限公司的生产厂区，一辆辆装载电子级双氧水的罐车正整装待发。这些看似普通的液体，实则是芯片制造不可或缺的“血液”，承担着晶圆表面清洗、杂质去除等关键使命，是芯片制造的幕后“超级清洁工”。 “生产一瓶符合芯片制造要求的超净高纯双氧水，难度堪比在针尖上跳舞。”该公司总经理沈健用这个比喻道出了技术难度。传统双氧水生产工艺无法满足芯片制造对纯度G5的苛刻要求。面对这一难题，该公司创新采用多孔树脂吸附技术。“这就好比给双氧水准备了一块神奇的‘净化海绵’，再搭配七级纯化工艺，杂质在这样层层递进的净化过程中被逐一去除，从而让双氧水达到芯片生产所需的超高纯度标准。” 走进公司智能控制中心，大屏幕上跳动的数据揭示着生产的奥秘。“这套‘智慧中枢’可厉害了，产物的稳定性都靠它了。”沈健指着屏幕向记者介绍，它通过数百个传感器实时监测生产数据，一旦有机物或离子浓度出现波动，系统会自动调整流速、修正参数，让产能提升的同时保证产物的稳定性。 “芯”火燎原。在潜江，除了晶瑞的电子级双氧水，中巨芯的电子级硫酸、达诺尔的电子级异丙醇同样表现卓越，不仅完成了G5品质的稳定量产，更是实现了G5pro、G6品质的定制，让高端芯片生产用上了国产“纯净水”，打破了国外在相关领域的技术垄断。 当前，在潜江，微电子材料产业“磁吸效应”显现，北旭电子、鼎龙控股、孚诺林、中巨芯、达诺尔等一批微电子材料公司加速集聚。它们的产物覆盖湿电子化学品、光刻胶材料等关键领域，与京东方、华星光电、天马微电子等行业巨头形成配套产业链，填补了湖北省在高端电子化学品领域的空白。(周雯、张隽、张沛、王郭骥)
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? 王光昕记者 冯建华 摄
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