6月28日,苏州博众仪器科技有限公司(以下简称“博众仪器”)发布国产首台商用200千伏场发射透射电子显微镜BZ-F200。该显微镜的点分辨率达到0.25纳米,晶格分辨率达到0.14纳米,能够直接分辨绝大多数材料的晶格结构。 透射电子显微镜是一种高分辨率的微观分析仪器。显微镜中的电子束穿透样品后,会携带样品内部结构信息,这些信息经过放大系统成像后,可放大百万倍,从而帮助使用者观察原子级图像。透射电子显微镜广泛应用于纳米级的研究与观测,是材料科学、生命科学和半导体等领域研究所必需的高端仪器设备。 BZ-F200的研发历时5年。博众仪器技术总监梁晶博士介绍,此前,高端透射电镜产业长期被国外仪器公司垄断,核心零部件受到国外技术封锁,针对这项痛点,博众仪器陆续实现了热场电子枪、超高稳定度电源、热场电子源、精密加工镜筒、纳米级测角台等核心零部件的自主生产,并在用户先期试用中得到验证。 梁晶介绍,该显微镜主要聚焦材料研发以及前沿科学领域,适用于晶格尺度的结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。 “经过5年的技术攻关与反复锤炼,我们已将BZ-F200从整机到每一个关键零部件的全链条核心技术牢牢掌握在自己手中。”博众仪器总经理唐爱权表示。

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